大面积高速三维成像扫描系统

NS-3500H是一种准确、可靠的三维(3D)扫描系统，通过快速光学扫描模块和信号处理算法实现实时共焦显微图像。在测量和检测微观三维结构，可以为半导体晶片，FPD产品，MEMS设备，玻璃基板，材料表面等提供各种解决方案。  
Features&Benefits（性能及优势）：  
高分辨无损伤光学3D测量自动倾斜补偿  
实时共焦成像简单的数据分析模式  
多种光学变焦双Z扫描  
大范围拼接半透明基材的特征检测  
实时CCD明场和共聚焦成像无样品准备  
Applicationfield（应用领域）：  
NS-3500是测量低维材料的有前途的解决方案。  
可测量微米和亚微米结构的高度，宽度，角度，面积和体积，例如  
-半导体:IC图形，凹凸高度，线圈高度，缺陷检测，CMP工艺  
-FPD产品:触摸屏屏幕检测，ITO图案，LCD柱间距高度  
-MEMS器件:结构三维轮廓，表面粗糙度，MEMS图形  
-玻璃表面:薄膜太阳能电池，太阳能电池纹理，激光图案  
-材料研究:模具表面检测，粗糙度，裂纹分析
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