热反射式激光共聚焦显微镜

CTRM700是韩国출연연구소所研发并由韩国NanoscopeSystems进行商业化运营的热反射式激光共聚焦显微镜。  
CTRM700利用的是激光共聚焦扫描的方法测量样品表面或内部特定表面上温度变化引起的反射率变化的分布来获取样品的热分别图像。  
CTRM700.jpg  
Principles&Benefits（性能及优势）：  
热反射显微镜（ThermalReflectanceMicroscope)是一种基于测量样品表面光反射率变化而测量样品温度变化的一种技术。  
共聚焦热反射显微技术是一种激光扫描共聚焦方法，它可以在局部区域获得比传统热成像技术（红外成像技术）更高分辨率的热成像图像。  
Applicationfield（应用领域）：  
半导体器件热特性的测量与分析：  
-柔性显示面板缺陷检查  
-OLED内部缺陷检查  
-高输出功率装置发热特性的测量与分析  
-传感器单元的红外图像分析  
-氧化物薄膜晶体管的热特性  
-3D堆叠半导体热特性的测量分析  
-OLED器件的热特性分析  
-气体传感器的MEMS装置的热特性测量和分析  
-InGaZnO薄膜晶体管的发热特性及可靠性分析
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